Enduraz EM01 耐腐蚀、抗高温
特性与优势
- 优越的耐高温性能
- 优越的等离子体耐受性
- 优异的机械性能
应用领域
- 腔体密封
- 气体管路密封
- 阀门密封
- 法兰密封
- 易损伤部品间缓冲垫片
工艺应用
- 外延炉
- 退火工艺
- 扩散工艺
- 化学气相沉积
- 物理气相沉积
- 湿刻蚀相关工艺
性能参数
| 典型值 | ||
| 材质 | Enduraz EM01 | |
| 颜色 | 黑色 | |
| 硬度, Shore A |
69 |
|
| 100%模量, Mpa |
4.0 (580) |
|
| 抗拉强度, Mpa |
15.5 (2248) |
|
| 延展性, % |
200 |
|
|
压缩形变: 204℃，70h 300℃，70h |
18 38 |
|
| 工作温度 |
300°C |
|
Enduraz EM01是一款耐等离子体性能优越的黑色全氟材质，适用于大多数等离子体制程工艺（如PECVD，LPCVD，WCVD，PVD，ALD，ETCH等），且其特殊的工艺配方使其同时具备优异的耐高温性能，可以在高达300°C的应用环境下使用。因此在诸如RTP、EPI、Diffusion、炉管等高温半导体工艺应用中，Enduraz EM01有优异的表现。
得益于其良好的加工性能，Enduraz EM01可以被加工成各种形状和尺寸，广泛应用于各种异形件加工与生产。
得益于其良好的加工性能，Enduraz EM01可以被加工成各种形状和尺寸，广泛应用于各种异形件加工与生产。
