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Enduraz XM01 超高温|良好的耐腐蚀能力|优越的机械性能

特性与优势

• 极其优越的耐高温性能

• 优越的氧、氟等离子体耐受性

• 低放气率

• 高耐磨性

• 优异的机械性能

 

应用领域

• 腔体密封

• 气体管路密封

• 阀门密封

• 法兰密封

• Bonded slit valve doors

 

工艺应用

• LPCVD工艺

• RTP工艺

• 外延炉

• ALD

• 及其他扩散工艺

 

性能参数

  典型值
材质 Enduraz XM01                 
颜色 黑色
硬度, Shore A                                                               75
100%模量, Mpa 11.3
抗拉强度, Mpa 17.5
延展性, % 144
压缩形变: 204℃,70h 26
工作温度 315℃

产品中心

PRODUCT

Enduraz XM01是一款专为半导体严苛制程研发的耐高温材质,其工作范围为-10至315°C,可以耐受诸如LPCVD、RTP、外延炉等超高温系统的工作环境。 除了出色的耐热性,Enduraz XM01还具有良好的耐等离子体性能,适用于大多数等离子体制程工艺(如蚀刻,PECVD,LPCVD,WCVD,PVD,ALD,等离子清洗等)。 此外,它还可以提供广泛的在多种介质中的耐化学性,包括酸,苛性碱,酮,醛,酯,醚,醇,溶剂,酸性气体和碳氢化合物等。