Enduraz XM02 耐高温|良好的耐腐蚀能力|优越的机械性能

Enduraz XM02是一款专为半导体严苛制程研发的耐高温材质，其工作范围为-10至300°C，可以耐受诸如LPCVD、RTP、外延炉等超高温系统的工作环境。 除了出色的耐热性，Enduraz XM02还具有良好的耐等离子体性能，适用于大多数等离子体制程工艺（如蚀刻，PECVD，LPCVD，WCVD，PVD，ALD，等离子清洗等）。 此外，它还可以提供广泛的在多种介质中的耐化学性，包括酸，苛性碱，酮，醛，酯，醚，醇，溶剂，酸性气体和碳氢化合物等。